在水中，將距離1cm的兩片表面積為1cm2大小的電極加以通電，來監測兩極間的導電率，通過所加電壓和測得的電流能夠獲知兩極間的電阻值，這個數值在水質分析中通常被稱為電阻率或比電阻，其單位用MΩ.cm（mega ohm-centimeter）來表示。電阻率的倒數稱為導電率或電導率，用μs/cm（micro Siemens per centimeter）來表示。這兩個參數是表示水的純度的zui常用參數。
將自來水中的離子去除，會使得電阻率值升高（導電率降低），單并非無限制的增加，這是因為部分水分子會電離為氫離子和氫氧根離子，其電阻率值極限值18.248MΩ.cm（25℃）。此外，電阻率值會隨著水的電離常數而改變，因而會受到水溫的影響。例如，25℃的超純水，其電阻值為18.2MΩ.cm,但在0℃則為84.2MΩ.cm, 100 ℃則為1.3MΩ.cm。在25 ℃附近，當溫度上升1 ℃，其電阻值將下降0.84MΩ.cm。因此，多使用補償至25 ℃的電阻率值來做衡量標準。
此外像總有機炭含量（TOC），熱源內毒素含量，細菌含量，顆粒含量，微生物含量，總溶解固體含量（TDS）等也常常被用作補充說明水質的重要參數。因此，水的純度標準通常由以上這些參數的一項或幾項來綜合說明、分級。
