日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 一、產品簡介
CFB-N系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒，軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境，廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。
日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 二、產品特點
日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標
型號 | CFB-1600N | ||
進氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | — | KF50 | |
抽氣速率 | L/s | 1600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機轉速 | rpm | 21000 | |
啟動時間 | min | ＜6 | |
使用場合 | — | 耐腐蝕 | |
振動值 | μm | ≤0.15 | |
前極泵 | L/s | 15 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤20 | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
加熱器功率 | W | <700 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～39 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB-N系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線
CFB-N系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
CFB-N系列耐腐蝕復合分子泵安裝尺寸表
型號規格 | CFB-1600N | |
高真空法蘭 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф296 | Ф296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 394 | 394 |
H2 | 110 | 110 |
H3 | 142.5 | 142.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |
